MicroXAM-800光学轮廓仪是一种非接触式3D表面形貌测量系统。MicroXAM的白光干涉仪可以埃级分辨率对表面进行高分辨率测量。 该系统支持相位和垂直扫描干涉测量,两者都是传统的相干扫描干涉技术(CSI)。MicroXAM进一步扩展了这些技术,它采用SMART Acquire为新手用户简化了程序设置,并且采用z-stitchi*g干涉技术可以对大台阶高度进行高速测量。 MicroXAM测量技术的优势在于测量的垂直分辨率与物镜的数值孔径无关,因而能够在大视野范围内进行高分辨率测量。测量区域可以通过将多个视场拼接为同一个测量结果而进一步增加。 MicroXAM的用户界面创新而简单,适用于从研发到生产的各种工作环境。 image.p*gimage.p*g image.p*gimage.p*g 主要功能 · 针对纳米级到毫米级特征的相位和垂直扫描干涉测量 · SMART Acquire简化了采集模式并采用已知较佳的程序设置的测量范围输入 · Z-stitchi*g干涉技术采集模式,可用于单次扫描以及编译多个纵向(z)距离很大的表面 · XY-stitchi*g可以将大于单个视野的连续样本区域拼接成单次扫描 · 使用脚本简化复杂测量和工作流程分析的创建,实现了测量位置、调平、过滤和参数计算的灵活性 · 利用已知较佳技术,从其他探针和光学轮廓仪转移算法 image.p*g 主要应用 · 台阶高度:纳米级到毫米级的3D台阶高度 · 纹理:3D粗糙度和波纹度 · 形式:3D翘曲和形状 · 边缘滚降:3D边缘轮廓测量 · 缺陷复检:3D缺陷表面形貌 image.p*g 工业应用 · 大学、研究实验室和研究所 · 半导体和化合物半导体 · LED:发光二极管 · 电力设备 · MEMS:微电子机械系统 · 数据存储 · 医疗设备 · 精密表面 · 汽车 · 还有更多:请与我们联系以满足您的要求 image.p*g